MKS 사에서 생산되는 RPS는 상당히 종류가 많습니다.
반도체 공정 용도에 따라서 선택되어 집니다
RPS(Remote Plasma Source)는 내부의 챔버내부 구성은 알루미늄과 쿼츠로 구성되어 있습니다.
챔버 내부에서 플라즈마가 생성 되기때문에 챔버 내부의 코팅막이 점점 깍겨 나가죠
그러면 wafer의 불량을 일으킬수 있는 상황이 발생합니다
알루미늄 챔버을 사용하는것와 쿼츠를 사용하는것은 플라즈마를 생성해서 공정에 영향을 주는 가스 종류에 따라 달라집니다.
Plasma 의 발생 장치 원리와 거동 및 공정 조건등을 알면 근본적인 취약점을 분석할 있고, RPS의 LifeTime도 늘릴수가
있습니다
신뢰성 있는 Repair 와 Lifetime를 개선하고 공정중에 문제을 대하여 해결하고 싶으시면 연락 주세요
하기와 같은 Repair도 가능합니다.
MicroWave : SmartMatch
RPS Repair : 2L, 3L, 6L, 15L, 22L, etc
Revolution I, III : 1) 보드 검증 시험기로 실제로 검증 신호를 인가하여 보드의 각 부품의 불량 검출 가능합니다
2) Life Time 을 증가시킬 수 있는 방안 및 부품 가공 가능합니다
3) Applicator Qurtz,
4) Boost Board,
Advancd Power Board,
High Current Ign Board,
High Voltage Ign Board,
Fuse Board,
FM Control Board
email: kimbsoo87@naver.com, kimbsoo888@gmail.com
